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Wave

AZtecWaveは、スピーディでフレキシブルなEDS分析に、WDS独自のピーク分離や微量元素定量の能力を組み合わせます。Wave WDSは、SEM用として最高のスペクトル分解能を持ち、X線ピークのオーバーラップ解決や、より低い検出限界を実現します。高カウントレート条件下でも最高の精度を発揮するEDS検出器Ultim Maxは、Waveとの組み合わせにより、マイクロアナリシスシステムとして世界最高レベルの性能を発揮します。

  • ローランド円ジオメトリと湾曲分光結晶を採用した完全集光型のWaveスペクトロメーター

  • 隣接したX線ピークを完全に分解する卓越したスペクトル分解能

  • 良好なピークバックグラウンド比による100ppm以下の検出限界

  • ピーク分解能とピークバックグラウンド比を最適化するモーター駆動のX線カウンターのエントランススリット

  • 高速で再現性が高く、試料位置決めも容易な傾斜したジオメトリ


お問い合わせ

AZtecWaveは、ローランド円ジオメトリと湾曲分光結晶を使用した完全集光型のWaveスペクトロメーターを使用しています

  • 高いピーク対バックグラウンド比により多くの元素において100ppm以下の検出限界を実現
  • モーター駆動のX線カウンターエントランススリットによりあらゆるX線ラインのピーク分解能とピークバックグラウンド比を最適化
  • 広いエネルギー範囲のX線に最適化 - 正確な定量分析に適した高エネルギーのX線ラインも選択可
  • 軽元素検出に適したAr-CH4型と、高エネルギーX線に適したXe型から構成されるユニークなデュアルカウンターシステム
  • 高速で再現性が高く、試料位置決めも容易な傾斜したジオメトリ
  • ミニビューと仮想表示でスペクトロメーターの位置と設定をリアルタイムで確認
  • 隣接したX線ピークを完全に分解する卓越したスペクトル分解能 - 難しい分析を容易に解決
    • SiKa <2eV
    • FeKa <25eV

S Kα = 2.307 keVやMo Lα = 2.293 keVなどの間隔の狭いラインの分離には、SEM-WDSの高い分解能が必要です。


ローランド円ジオメトリ

Rowland_circle_Geometry

Waveスペクトロメーターは、SEM搭載WDSのための独自のジオメトリを使用しています。このジオメトリでは、試料・分光結晶・X線カウンターが常にローランド円上に配置されます。

  • 試料と結晶、およびX線カウンターと結晶の間は同じ距離となる必要があります。
  • 最高のピーク分解能のため、湾曲・切削した分光結晶を使用しています。
  • 破損しやすい光学部品、時間を要するアライメント、高エネルギーX線ライン分析の制限などに煩わされることがありません。
  • ユニークなこのジオメトリは、広い範囲のX線エネルギーで機能 - SEM上で本来のDSのスペクトル分解能を発揮します。
  • すべてのエネルギーのX線に最適化。解析の際に常に最適なX線ライン選択が可能です。
  • 遷移金属のK線など、主要なピークオーバーラップを解消できます。
  • すぐれた検出下限値をもっとも小電流、短時間で実現します。

                                                              WDS ハードウエア - Waveスペクトロメーターと W1 エレクトロニクス
ジオメトリ 完全集光型ローランド円
定量分析 Wave 500: 0.17- 10.84 keV、B (5) - Pu (94) | Wave 700: 0.07 – 10.84 keV Be (4) - Pu (94) 
スペクトル分解能 SiKα <2eV   |   FeKα <25eV
検出下限 SiKα – 9ppm  |  FeKα – 15ppm
X線カウンター P10 (Ar-CH<sub>4</sub>) フロー型 およびXe封入型
モーター駆動ゲートバルブ 標準装備
カタログ: AZtecWave
Blog: Why is Spectral Resolution so Important when Analysing using WDS?
Technical Data sheet: AZtec Standards
Technical Data sheet: Max+

WDSおよびEDSの定量分析を標準化するための高品質な標準試料

  • 37標準試料(42元素)、または55標準試料(56元素)のブロック
  • すべての標準試料に分析証明書が付属しています。
  • 標準試料ブロックには、照射電流量計測用のファラデーカップが含まれます。
  • すべての標準試料ブロックはオックスフォード・インストゥルメンツ社の製品用にMicro-Analysis Consultants Ltdが製造しています。

 

 

 

Standardisation
Standardisation

大電流分析条件下でEDSを最適化するMax+インターフェース

Max Plus open New wheel colour key New beam current range max+

Max+インターフェースには、大電流条件下で操作する際にEDS検出器のX線カウントレートを低く抑えるための様々なサイズのアパーチャーが搭載されています。

  • EDS性能を最適に保ちながら、同時にWDS分析のための最適な条件を実現させます。
  • Max+を搭載した大面積EDS Ultim Max検出器は、少ない照射電流条件下でのナノオーダーの分析からEDS/WDSを組み合わせたマイクロメートルオーダーの分析まで、すべてのアプリケーションに対応しています。
  • AZtec Waveにより常に正確な結果が得られます。

波長分散型分析装置(WDS)は、固体試料から定量的な組成を求める用途、特に微量元素の濃度を正確に測定する必要のある用途に適しています。金属学、地質学、電子工学、半導体、科学捜査、エネルギー生成と貯蔵など、幅広い分野で応用されています。AZtecWave を用いて WDS と EDS 分析を組み合わせることで、SEM での非破壊組成分析が可能な汎用性の高いシステムを提供します。

詳細な応用事例をご覧いただけます。

関連情報

その他アプリケーション

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